VECTOR HTC-SCA系列产品是水基的超声、兆声清洗剂,可以提升晶片表面因超声、兆声设备作用而释放的空化能量以达到更加有效清洗的目的。该产品适用于对研磨、腐蚀、抛光后的半导体衬底片进行有效清洗。 VECTOR HTC-SCA 具有经济的稀释比例,可以有效洗净半导体晶片上常见的有机物、聚合物及亚微米颗粒等沾污。这些沾污是腐蚀的晶片表面出现印迹或条纹的主要原因。
VECTOR HTC-SCA系列产品也推荐用于太阳能硅片生产过程中涉及到超声波清洗的任何预清洗或终了清洗工序,可以去除多晶或单晶硅片表面的有机物、无机物及颗粒沾污。
VECTOR HTC-SCA系列产品既可以在加热或未经加热的超声波水槽中使用 ,也可以用于刷洗及浸泡式清洗等场合。
SCA系列中共有六种产品: VECTOR HTC-SCA, VECTORHTC-SCA-N, VECTOR HTC- SCA-1, VECTOR HTC-SCA-1-N, VECTOR HTC-SCA-2 and VECTOR HTC-SCA-13.
优 点:
l优异的湿润能力
l可冲淋—不会有薄膜或残留
l兼容所有其他VECTOR 系列产品
l使用经济,容易过滤
使用指导:
对VECTOR HTC-SCA系列产品进行评估测试时,建议开始时使用4%的配比在去离子水中混合,不含有硬水离子的自来水也可搭配使用。晶片表面残留污物的类型(有机物、颗粒等)及沾污程度将较终决定实际应使用的浓度。在使用VECTOR HTC-SCA系列清洗剂时，还需要考虑温度、工件暴露时间、设备的清洗能力等因素。
其他信息: VECTOR 系列产品的标准包装为5 加仑(美制)小桶和55加仑(美制)大桶
VECTOR HTC-SCA13具有较强的去除重油污的清洗能力,推荐用于晶片的去蜡清洗以及蓝宝石衬底片加工的全工序清洗(线切割后、研磨后和抛光后),蓝宝石业界使用HTC-SCA-13的参考客户有Rubicon,Monocrystal,Kyocera 等。
